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反(fǎn)應(yìng)離子蝕刻(kè)技術(shù)是(shì)一(yī)種(zhǒng)物(wù)理(lǐ)化(huà)學(xué)工藝过程。化(huà)學(xué)反(fǎn)應(yìng)气(qì)體(tǐ)(自(zì)由(yóu)基、離子)與(yǔ)待除去(qù)的(de)铜(tóng)箔反(fǎn)應(yìng)。生(shēng)成(chéng)一(yī)種(zhǒng)揮發(fà)性(xìng)气(qì)體(tǐ)化(huà)合物(wù),它(tā)很容易從此表(biǎo)面(miàn)上(shàng)抽吸掉。反(fǎn)應(yìng)等離子蝕刻(kè)是(shì)有选擇性(xìng)的(de),优先(xiān)與(yǔ)要(yào)去(qù)除的(de)铜(tóng)箔發(fà)生(shēng)反(fǎn)應(yìng),但不(bù)與(yǔ)保護胶(jiāo)發(fà)生(shēng)反(fǎn)應(yìng)。反(fǎn)應(yìng)離子蝕刻(kè)可(kě)以(yǐ)是(shì)全(quán)方(fāng)位(wèi)的(de)(各(gè)向(xiàng)同(tóng)性(xìng)),也(yě)可(kě)以(yǐ)是(shì)有方(fāng)向(xiàng)性(xìng)的(de)(各(gè)向(xiàng)异(yì)性(xìng)),取(qǔ)決于使用(yòng)的(de)等離子条(tiáo)件(jiàn)。當然,在(zài)高(gāo)精度(dù)的(de)制造场(chǎng)合,我(wǒ)们(men)选取(qǔ)的(de)是(shì)其(qí)各(gè)向(xiàng)异(yì)性(xìng)的(de)特(tè)征。該蝕刻(kè)方(fāng)式不(bù)僅蝕刻(kè)精度(dù)高(gāo),而(ér)且(qiě)蝕刻(kè)速率快(kuài)(每分(fēn)钟蝕刻(kè)铜(tóng)箔的(de)速率为(wèi)幾(jǐ)千(qiān)埃),是(shì)最为(wèi)理(lǐ)想(xiǎng)的(de)高(gāo)精度(dù)时(shí)刻(kè)方(fāng)式。

蝕刻(kè)技術(shù)

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